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應用案例
PL熒光光譜測量應用案例 自動晶片激光打標機應用案例 晶片厚度及翹曲度測量設備應用案例 晶片膜厚自動測量及分類機應用案例
產品介紹
PL譜掃描成像儀 自動晶片激光打標機 晶片厚度及翹曲度測量設備 晶片膜厚自動測量及分類機 晶片自動分類機 晶片方塊電阻自動測試機
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PL譜掃描成像儀
通過特定波長激光激發指定材料,獲得熒光光譜,對熒光光譜進行采集并后處理呈現熒光各項特征。波長覆蓋紫外到近紅外(200-2500nm),可對2-12寸外延片進行測量。
自動晶片激光打標機
通過機械手搬運晶片,用特定激光器在晶片指定位置打標,實現對晶片的自動標記??蓪崿F軟打標和硬打標。可打標半導體材料覆蓋:、Si、SiC、GaAs、InP、Al2O3(藍寶石)、Ge等材料。
晶片厚度及翹曲度測量設備
按照客戶要求實現晶片厚度、翹曲度的定制化測量。
晶片膜厚自動測量及分類機
多種解決方案實現多種材料,多層材料的表面薄膜厚度及微區薄膜厚度的自動測量。
晶片自動分類機
根據客戶需求定制晶片自動分類機,并實現其它輔助功能。
晶片方塊電阻自動測試機
采用電渦流法實現晶片表面方塊電阻及體電阻的自動測量。
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公司簡介
中拓光電,位于北京市中關村科技園昌平園,始創于2005年,是一家專業從事半導體光機電一體化專用設備的研發設計、裝配制造、銷售及技術服務的公司。
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北京市昌平區科技園區超前路23號。
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北京中拓光電科技有限公司
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